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机构名称: 中国科学院02专项光刻机关键部件研发任务管理办公室
机构URL: http://www.aoe.cas.cn/jgsz/kyxt/ffrdy/201305/t20130524_3846070.html
所在地区: 北京市
机构类型: 院设非法人单位

学科主题: Engineering and Technology(工程技术)
  computer science, information systems(计算机科学:信息系统)
  engineering, electrical & electronic(电子工程与电气工程)
研究方向: 集成电路 光电研究
  Integrated circuit;Photoelectric research
机构简介:
支撑当今信息社会发展的集成电路光刻是代表国家科技实力的重要战略高技术。它综合了最高水平的光学工程、信息、控制的技术,一直被少数西方国家垄断。2008年启动的02专项­——“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项以建立自主的高端光刻技术和产业发展能力作为重大、核心的战略目标。2009年,光电研究院组织长春光机所、光电所(成都)、上海光机所等单位,承担了国产高端光刻机极为核心、技术挑战极大的曝光光学系统及曝光光源的攻关任务。同时,为有效组织中科院在相关领域优势力量,圆满完成02专项的攻关任务,并带动我院超高精密光学工程技术的整体突破,建立了“中科院02专项光刻机关键部件研发任务管理体系”。
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电话: 86-10-82178800
传真: 86-10-82178600